微电子技术应用基础第二章集成电路制造工艺

- 第二章 集成电路的制造工艺 - 第一节　双极型集成电路的工艺流程 第二节 MOS集成电路的工艺流程 第三节外延工艺 第四节氧化工艺 第五节 化学汽相淀积(CVD)方法 