衍射光学元件的扫描刻蚀深度在线检测

衍射光学元件的扫描刻蚀深度在线检测徐作冬 ,刘 颖 ,徐向东 ,徐德权 ,付绍军 () 中国科学技术大学 国家同步辐射实验室 ,合肥 230029摘要 :基于楔形光学平板的等厚干涉原理 ,提出了一种透