磁控溅射镀膜设备升级换代的新思路

磁控溅射镀膜设备升级换代的新思路磁控溅射镀膜设备升级换代的新思路、新设备和新工艺 再谈本底真空与放气率 龚建华 目前，传统产业的升级换代已经成为国家的战略决策，各级政府已出台，或者即将出台各种资助政策