辉光离子氮化炉操作维护规程

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辉光离子氮化炉操作维护规程 设备保养 1. 仪器仪表的维护 仪表应定期清除表面的灰尘和污垢，定期作计量检定，确保 在计量检定有效期内运行。 2. 电气设备维护 定期清扫电器设备上的灰尘和油污，保持电器元件的清洁， 特别是继电器触头，接插件和可控硅元件上不允许污物堆积， 乙方造成接触不良或短路。 3. 炉体的维护与保养 3.1 真空室必须保持清洁、干燥，不使用时应保持真空状态， 冬季停炉或长时间不使用时，应将冷却水放掉。 3.2 定期检查冷却水的供、排水管道是否畅通。 3.3 “” 经常检查阴极输电装置的气息保护部分，如发现搭桥， 应及时清理，调整。 3.4 及时清理隔热屏上的突出溅射物或毛刺，以防造成强烈 的阳极辉光灼伤隔热屏。 3.5 定期用稀盐酸擦洗观查孔玻璃镜片上的溅射物，以便清 晰地观察炉体内的运行状况，确保目测温度的准确性。 3.6 经常检查进气管道有否漏气；检查观察孔，阴极输电装 置，热电偶，管道接头及蝶阀的密封圈是否松动或老化。发