芯片实验室采用先进硅技术

芯片实验室采用先进硅技术知识开发了一个流程流。粗糙（500-3μm）结构和精细（3-O，5μm）结构均可在同一流程流中制造，而且在采用深硅蚀刻技术后并无明显差异。这提供了极大的设计灵活性。此外，高纵横