基于烛灰纳米颗粒层的高灵敏度MEMS湿度传感器

基于烛灰纳米颗粒层的高灵敏度MEMS湿度传感器基于烛灰纳米颗粒层的高灵敏度MEMS湿度传感器摘要：湿度传感器在许多领域具有重要的应用，如气象观测、环境监测、农业、食品加工和医疗等。MEMS（Micro