生长条件对硅衬底GaN薄膜中C、H、O杂质浓度影响的研究

生长条件对硅衬底GaN薄膜中C、H、O杂质浓度影响的研究生长条件对硅衬底GaN薄膜中C、H、O杂质浓度影响的研究摘要：GaN材料是一种具有广泛应用潜力的半导体材料，其性能优异且稳定。然而，GaN材料中