SiC MOSFET栅氧化层可靠性和NBTI效应研究的中期报告

SiC MOSFET栅氧化层可靠性和NBTI效应研究的中期报告Introduction随着半导体器件技术的不断发展，SiC MOSFET已成为高电压和高温应用领域最具前景的器件之一。SiC MOSFE