基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术

基于多偏振照明的浸没式光刻机投影物镜高阶波像差快速检测技术摘要随着半导体工艺中线宽的不断缩小，对光刻机投影物镜波像差的要求也越来越高。本文基于多偏振照明的浸没式光刻机，提出了一种快速检测投影物镜高阶波