AE中频电源1

第 章 PE II 10 kW中频电源PE II 10 kW 电源是美国AE公司生产的中频电源，它主要作为磁控溅射的电源，其结构、原理和使用说明如下。第一节 工作原理概述 1、总线/辅助 2、