《半导体工艺词汇》word版

半导体工艺词汇Scrubb 【化学】(使)(气体)净化；(从气体中)分离出，提出。Regulator 校准者；【机械工程】调整器，校准器，调节器；【无线电】稳定器；【化学】调节剂；【代】调节基因；(钟