MEMS湿法腐蚀工艺和过程

第8章 MEMS湿法腐蚀工艺和过程D__id W. Burns摘要：通过光刻胶或硬掩膜窗口进行的湿法化学腐蚀在MEMS器件制造的许多工艺过程中大量存在。本章针对400多种衬底和淀积薄膜的组合介绍了80