晶体生长工艺
- 单晶生长温度分布场 - 横向上,晶棒边缘温度高于中心温度.纵向上,熔体内部温度高于表面温度.一般来说,结晶界面的纵向温度梯度应适当的大,使单晶生长有足够的动力.生长界面的横向
晶体生长工艺