扫描电子显微镜在材料研究中的应用

扫描电子显微镜在材料研究中的应用 宋啸 北京石油化工学院高063班 摘 要：介绍了扫描电子显微镜的工作原理及特点，阐述了扫描电子显微镜在材料科学领域中的应用。 关键词：扫描电子显微

------------------------------------------------------------------------------------------------ 扫描电子显微镜在材料研究中的应用 宋啸 063 北京石油化工学院高班 摘要：介绍了扫描电子显微镜的工作原理及特点，阐述了扫描 电子显微镜在材料科学领域中的应用。关键词：扫描电子显微镜材 料应用 60(SEM) 二十世纪年代以来，出现了扫描电子显微镜技术，这 样使人类观察微小物质的能力发生质的飞跃。依靠扫描电子显微镜的 (SEM) 高分辨率、良好的景深和简易的操作方法，扫描电子显微镜迅 速成为一种不可缺少的工具，并且广泛应用于科学研究和工程实践 1 中。扫描电子显微镜的原理 (ScanningElectronMicroscope)SEM 扫描电镜，简写为，是一 个复杂的系统，浓缩了电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及 现代计算机控制技术。扫描电镜是在加速高压作用下将电子枪发射的 电子经过多级电磁透镜汇集成细小的电子束，在试样表面进行扫描， 激发出各种信息，通过对这些信息的接收、放大和显示成像，以便对 1 试样表面进行分析。入射电子与试样相互作用产生如图所示的信息 种类。 1 图电子束探针照射试样产生的各种信息 ( 这些信息的二维强度分布随试样表面的特征而变这些特征有表 ) 面形貌、成分、晶体取向、电磁特性等，是将各种探测器收集到的 ——————————————————————————————————————