三梁-双膜耦合的静电谐振气压传感器研究的开题报告

三梁-双膜耦合的静电谐振气压传感器研究的开题报告一、研究背景随着科学技术的不断进步和应用需求的不断扩大，传感器技术变得越来越重要。静电谐振气压传感器作为一种新型的传感器，具有高精度、高灵敏度、低功耗等