真空控制系统与质谱仪用离子泵供电的研究

真空控制系统与质谱仪用离子泵供电的研究质谱仪作为高精密分析仪器，需要在高真空环境中工作，而高真空环境就是靠离子泵来提供的。离子泵工作需要高压供电，真空腔体需要真空规来测量真空系统的真空度，以往我们的离