单晶二部单晶炉周期保养时间记录表(135炉)

单晶炉（135炉）项目周期维护保养记录表序号保养内容周期 月份1月2月3月4月5月6月7月8月9月10月11月12月一机械部分保养（由设备维修人员操作）1炉台整体的水平1年2减速机更换润滑油、直线滑