异质外延SiGaN应力状态的拉曼光谱测试分析

异质外延SiGaN应力状态的拉曼光谱测试分析摘要：本文通过拉曼光谱测试分析异质外延SiGaN薄膜的应力状态，探究SiGaN薄膜厚度、温度、N2流量等因素对其应力状态的影响。首先，通过拉曼光谱测试确定了