飞秒激光和氮化硅晶体相互作用研究

摘要 氮化硅晶体薄膜在微电子工业、光电子工业、机械工业等方面具有广泛的应用。研 究飞秒激光跟氮化硅晶体薄膜的相互作用，既能发展飞秒激光与电介质材料相互作用的 有关理论，为研究飞秒激光与其它电介质材料相