MEMS压阻式小量程压力传感器封装可靠性的研究的中期报告

MEMS压阻式小量程压力传感器封装可靠性的研究的中期报告该研究的目标是评估MEMS压阻式小量程压力传感器的封装可靠性。这篇中期报告将介绍已完成的工作、获得的结果以及下一步要完成的工作。已完成的工作：1