波前误差离子束修形技术研究的中期报告

波前误差离子束修形技术研究的中期报告一、研究背景：离子束技术具有定向性、高能量、高精度等优点，已得到广泛应用。在现代微纳米加工中，离子束雕刻是一种被广泛使用的方法。然而，在离子束雕刻过程中，束流在样品