离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性研究的开题报告

离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性研究的开题报告题目：离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性研究1. 研究背景氧化物薄膜在很多领域中都有着重要的应用，例如传感器、光学器件、涂层等。其中，离子束溅射技术是一种常