第五章 离子注入h1

第五章第五章 离子注入 离子注入(Ion Implantation)§ 5.1 前言§ 5.2 离子注入系统§ 5.3 离子注入原理§ 5.4 离子注入损伤及其退火处理§ 5.5 离子注入在集成电路中