栅极孔刻蚀对埋栅型静电感应器件特性的影响

栅极孔刻蚀对埋栅型静电感应器件特性的影响栅极孔刻蚀对埋栅型静电感应器件特性的影响 [摘 要] 栅极孔刻蚀是要刻断栅极和源极(或阴极)之间在外延过程中形成的连体，打开栅电极区。刻蚀不足或过蚀程度太深都可