氪—卤素准分子紫外光源的特性研究

氪—卤素准分子紫外光源的特性研究氪—卤素准分子紫外光源的特性研究摘要：本文主要研究了氪—卤素准分子紫外光源的特性，探讨了其光谱特性、放电特性及发光机制等方面，研究结果表明氪—卤素准分子紫外光源的谱线密