场离子显微镜和原子探针

第9篇 第3章 场离子显微镜和原子探针由E.W.Müller在20世纪50年代发明的场离子显微镜(FIM)，是别具一格的原子直接成像方法，它能清晰地显示样品表层的原子排列和缺陷，在此基础上进一步发展