真空镀膜数据处理

七、实验数据记录薄膜制备条件开机时间19时08分工作气体Ar开高阀时间19时14分流量45Scm全开时间19时20分膜料、靶材Mo镀膜开始时间19时29分膜厚150A镀膜结束时间19时33分本底真空共