磁控溅射制备SiC薄膜与性能及研究

国内图书分类号：TB34国际图书分类号：620工学硕士学位论文工学硕 士学位论文学校代码：10213密级：公开磁控溅射制备 SiC 薄膜及其性能研究硕 士 研 究 生： 祝元坤导 师： 韩杰才 教授申