改良西门子法生产多晶硅工艺设计探讨

改良西门子法生产多晶硅工艺设计探讨摘要：多晶硅是现代半导体工业中常用的材料之一，主要用于制造光伏电池、晶体管和光学器件等。西门子法是生产多晶硅的主要工艺之一，然而，该工艺存在一些缺点，如生产周期长、能