基于Petri网的MEMS柔性设计建模方法

基于Petri网的MEMS柔性设计建模方法摘要:微机电系统(MEMS)作为一种新兴的集成器件，其柔性设计建模是 MEMS技术发展中的关键环节之一。Petri网是一种强大、灵活的工具，它可以用来描述ME