脉冲激光沉积制备不同择优取向的A1N薄膜的研究的综述报告

脉冲激光沉积制备不同择优取向的A1N薄膜的研究的综述报告引言：随着半导体材料在信息、通信、能源等领域的广泛应用，对高质量晶体薄膜及其器件的需求逐步增加。其中，氮化物材料因为其良好的热稳定性、光学性能、