新型三自由度宏微运动平台设计与仿真分析

新型三自由度宏微运动平台设计与仿真分析新型三自由度宏微运动平台设计与仿真分析摘要：随着微纳技术的快速发展，宏微运动平台在精密仪器、生物医学和精密加工等领域得到了广泛的应用。本文针对这一问题，设计了一种