基于模糊控制的HVPE生长设备温度控制系统

基于模糊控制的HVPE生长设备温度控制系统基于模糊控制的HVPE生长设备温度控制系统摘要:HVPE生长设备是一种常用于生产GaN材料的关键设备,其中温度控制对于材料生长的质量和性能至关重要。本文提出了

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