阴极电弧和磁控溅射镀膜设备改造前、后对比

分子增压泵磁控溅射镀膜设备储继国1，龚建华21.深圳大学物理科学与技术学院，2.深圳市摩尔真空技术有限公司（广东省产学研基金项目）一、背景传统大型磁控溅射镀膜设备采用扩散泵抽气，能耗高，油蒸汽污染严重