olnAAA新型磁约束磁控溅射源

新型磁约束磁控溅射源弥谦，袁建奇，雷琳娜 (西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室 西安 710032) 摘 要:目前磁控溅射技术已得到广泛的应用。为了提高溅射源的靶材利用率，实验室课题组设计