基于钝化微分的压电微动平台PID控制

基于钝化微分的压电微动平台PID控制基于钝化微分的压电微动平台PID控制摘要：压电微动平台是一种具有多自由度、高精度的微动平台，广泛应用于纳米制造、光学定位、生物医学等领域。然而，由于压电效应的非线性