金属有机化合物化学气相沉积法制备铱薄膜的研究

金属有机化合物化学气相沉积法制备铱薄膜的研究摘要本研究使用金属有机化合物化学气相沉积法制备铱薄膜。通过改变反应过程中的不同参数，如温度、压力、反应气体流量等，探究了其对铱薄膜形貌和物理性质的影响。结果