MEMS加速度检波器的建模及最优调节器设计的综述报告

MEMS加速度检波器的建模及最优调节器设计的综述报告MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）加速度检波器是一种基于微电子技术的加速度传感器，其采用微观机械制造技术，