版图设计规则

版图几何设计规则版图几何设计规则版图几何设计规则可看作是对光刻掩模版制备要求。一般来讲，设计规则反映了性能和成品率之间可能的最好的折衷。规则越保守，能工作的电路就越多(即成品率越高)；然而，规则越富有