单晶硅表面均匀小尺寸金字塔制备及其特性研究.

5782 物 理 学 报 59 卷 后会使硅的体寿命 会 出 现 衰 减 现 象， 其产生原因为 由于氧化 过 程 中 的 体 积 膨 胀 会 在 硅 基 底 上 产 生 大 的应力， 在 体 内 形