等离子体浸没离子注入非导电聚合物的适应性及栅网诱导效应的研究

等离子体浸没离子注入非导电聚合物的适应性及栅网诱导效应的研究随着微电子工艺的不断发展，非导电聚合物材料在半导体制造过程中变得越来越重要。其中，栅网诱导效应以及离子注入的应用也越来越受到关注。本文基于对