硅片材料制备和特性要求

第二章 硅片材料制造技术3.1 硅材料制备硅（Si）是地壳矿物中储量第二位的矿物元素，约为28%，总是与其他元素（特别是氧）以化合物的形式存在。由于庞大的硅矿物储量，和现有的科学技术以及过去几十年建立