国 内外基于压电驱动的研究现状

国 内外基于压电驱动的研究现状现代科学技术的快速发展，加深了微机电技术.微加工与制造技术.微操作技术、 微装配技术、纳米技术等微观领域的研究，己经进入微米.原子童级的时代⑴。微定位 (Micro /