用于玻璃刻蚀的新型光刻胶

用于玻璃刻蚀的新型光刻胶柯旭，巫文强，王跃川**（四川大学高分子科学与工程学院，成都 610065）近10 年来微型元器件和微型系统(MEMS)的发展令人瞩目，已经显现了现实和潜在的应用价值。玻璃是M