用光致抗蚀剂膜层制作衰减相移掩模

用光致抗蚀剂膜层制作衰减相移掩模用光致抗蚀剂膜层制作衰减相移掩模 2001拒微细加工技术 2~[vScrofabricatlonTechnology 文章编号:1003-8213(2001)02-00