多层结构高频声表面波器件的分析和研制

摘要 声表面波器件(Surface Acoustic Device)是通讯系统中重要的器件之一。出 于目前通讯器件朝着高频化发展，优良的高频声表面波器件必须具有高声速、高机电耦 合系数、低传播损耗、高