epi设备工作原理

epi设备工作原理Epi设备工作原理Epi设备是一种用于制备半导体材料的设备，其工作原理是通过在 晶体表面沉积一层薄膜来改变晶体的性质。这种薄膜通常由半导体 材料组成，例如氮化钱、磷化锢等。Epi设备