浅析热力学研究关于低压硅外延生长

浅析热力学研究关于低压硅外延生长此次研究将借助在低压条件下外延生长硅膜的方法进行试验，对反应体系的平衡状态进行分析，科学掌握热力学研究方法，对热化学数据进行整合，为今后选择工艺条件提供理论依据。一、低