曲面金属-电介质多层复合结构超分辨特性及其光刻效应研究

曲面金属-电介质多层复合结构超分辨特性及其光刻效应研究摘要本文研究了曲面金属-电介质多层复合结构的超分辨特性及其在光刻中的应用。首先介绍了曲面金属与电介质材料的特性，然后阐述了多层复合结构的制备及其超