基于准分子激光投影扫描系统的大面积ITO及TFT光刻的研究的开题报告

基于准分子激光投影扫描系统的大面积ITO及TFT光刻的研究的开题报告一、选题背景及意义：ITO（锡氧化铟）和TFT（薄膜晶体管）是电子行业中广泛使用的材料和器件，它们常被应用于平板显示器、光电子器件、